KSZY-D10扩散炉专用恒温槽5大特点如下:
◆采用高精度动态恒温控制技术和SMT装配技术,最佳恒温波动度达±0.05℃,专门为半导体扩散炉配套。 ◆ 提供单个源瓶、两个源瓶、和四个源瓶的结构形式,适合不同的应用需求。 ◆ 将源瓶与水介质彻底隔离的铁氟龙隔离套,将任何泄漏事故引起的危险降低到最低程度。 ◆ 采用全封闭磁力泵循环搅拌,温场均匀,绝无泄漏。通过将传感器与循环泵液流的一体化设计,大大提高控温精度和温场均匀性。 ◆ 液槽内胆、瓶源隔离套、电热器和蒸发器等可能与工作介质接触的部件采用不锈钢材料,其中瓶源隔离套内壁经铁氟龙处理,专门解决扩散炉应用问题。
KSZY-D10扩散炉专用恒温槽技术参数:
型号
Kszy-S12 Kszy -S16
Kszy-D10Kszy-D12 Kszy-D16
Kszy -T10 Kszy -T12
温度范围(℃)
+5~60(环境温度≤40℃)、+15~+40(环境温度≤60℃)
温度波动(±K)
±0.05~0.1(环境温度≤40℃)、±0.1~0.2(环境温度≤60℃)
显示分辨(℃)
0.1
加热功率(W)
600
600
600/1000
制冷量(W)
250
300
350
内胆尺寸(mm)
240*145D*220H(-S12) 235*160D*250H(-S16)
240W*120D*195H(-D10)240W*145D*220H(-D12) 335W*160D*250H(-D16)
240W*240D*195H(-Q10) 240W*285D*220H(-Q12)
源瓶尺寸(mm)
100D*148H(-X10) 120D*168H(-X12) 160D*198H(-X16)
源瓶隔离套
1个/不锈钢,内壁防腐处理
2个/不锈钢,内壁防腐处理
4个/不锈钢,内壁防腐处理
外形尺寸(mm)
300W*475D*300H(-S12) 300W*475D*320H(-S16)
300W*450D*275H(-D10)345W*475D*300H(-D12) 375W*475D*320H(-D16)
375W*570D*300H(-Q10)345W*615D*300H(-Q12)
压缩机(W)
150
制冷剂
R134 a
内胆材料
304不锈钢,提供316L不锈钢或钛材的定制
外壳材料
优质冷轧钢板静电喷涂
工作方式
连续
辅助功能
数显温度校正,传感器异常保护和报警,高温保护和低温报警,停电恢复,防干烧
电源
220V/50Hz
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