MOONS’(鸣志)MSST10-Q在扩散炉\PECVD上的应用
本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂。扩散是半导体工艺生产中的一种关键工艺，通过扩散所形成的PN结，就是晶体硅太阳能电池的核心。
MSST10-Q-RN、23HS3002-29、STM23S-3RE、23HS3811-04
热扩散炉用2个MSST10-Q-RN、2个23HS3002-29;
(PECVD用1个STM23S-3RE、1个MSST10-Q-RN、1个23HS3811-04)
步进电机用于驱动图中四个黑框里的模块上下、前后移动，一个电机装在模块上，通过变速箱 丝杠带动模块做上下运动，一个电机通过皮带 滚珠丝杠带动模块水平运动。
设备中共有四个工控机，每个工控机控制两个驱动器(一个模块)。
目的是送料进入炉中，或从炉中取料出来。
动作，低速往复运动，运行10分钟，静止1小时。
主机编程控制，实现全数字化控制，抗干扰能力强。